แสงสว่าง ส.; จันทมาส จ. . ผลของอัตราไหลแก๊สออกซิเจนต่อโครงสร้างของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมออกซิไนไตรด์ ที่เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริง. UTK RESEARCH JOURNAL 2024, 18, 73-81.