แสงสว่าง ส, จันทมาส จ. ผลของอัตราไหลแก๊สออกซิเจนต่อโครงสร้างของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมออกซิไนไตรด์ ที่เคลือบด้วยวิธีรีแอคตีฟดีซีแมกนีตรอนสปัตเตอริง. UTK RESEARCH JOURNAL [อินเทอร์เน็ต]. 29 ธันวาคม 2024 [อ้างถึง 11 ธันวาคม 2025];18(2):73-81. available at: https://ph02.tci-thaijo.org/index.php/rmutk/article/view/256239