การพัฒนาระบบควบคุมอุณหภูมิสำหรับกล้องจุลทัศน์แบบส่องกราดในอุโมงค์

บทคัดย่อ

งานวิจัยนี้กล่าวถึงการออกแบบและพัฒนาระบบควบคุมอุณหภูมิสำหรับกล้องจุลทัศน์แบบส่องกราดในอุโมงค์ ด้วยการทำงานร่วมกันของแคปซูลผิวปิดทรงกลมสำหรับแยกอุณหภูมิล้อมรอบกล้องจุลทัศน์แบบส่องกราดในอุโมงค์ออกจากอุณหภูมิภายในห้องทดลองที่มีเสถียรภาพต่ำ และระบบควบคุมอุณหภูมิตัวพาความร้อน ทำให้การควบคุมอุณหภูมิแวดล้อมกล้องจุลทัศน์แบบส่องกราดในอุโมงค์มีเสถียรภาพในระดับน่าพอใจ ผลการควบคุมอุณหภูมิของตัวพาความร้อนและกระบวนการแลกเปลี่ยนความร้อนกับขดท่อทองแดงในแคปซูลผิวปิดแสดงให้เห็นว่าอุณหภูมิภายในแคปซูลผิวปิดตอบสนองได้รวดเร็วด้วยค่าหน่วงเวลา 12 นาที ระบบสามารถควบคุมเสถียรภาพของอุณหภูมิภายในแคปซูลผิวปิดในระดับ 200 m°C ต่อเนื่องนานกว่า 5 ชั่วโมง เสถียรภาพของอุณหภูมิในระดับ 50 m°C ควบคุมได้ตลอดระยะเวลานาน 40 นาที