Study on the Influence of Silicon Element on Friction Coefficient of Diamond-Like Carbon Film Annealed Under High Temperature

Main Article Content

Narin Sunthornpan
Krittapon Chancherdchu
Warawut Rittiphat
Nutthanun Moolsradoo


This research aimed to study the influence of silicon element on friction coefficient of Diamond-Like Carbon film annealed under high temperature. Silicon wafer samples were coated with Si-DLC film prepared from gaseous mixtures of C2H2:TMS at 2:1, 1:2 and 1:4 ratios, deposited by Plasma Based Ion Implantation (PBII) technique. Film thickness was 500 nm. The films were annealed at 400°C, 450°C, 500°C, 550°C and 600°C for 1 hour and then cool in furnace. The friction coefficient of films was measured by Ball on disk friction tester. The results found that Un-annealed Si-DLC film at flow rate ratio of 2:1 (30.97at.%Si) had a lowest friction coefficient of 0.05, and showed heat resistance up to 600°C with a friction coefficient of 0.02.

Article Details

How to Cite
Sunthornpan, N., Chancherdchu, K., Rittiphat, W., & Moolsradoo, N. (2016). Study on the Influence of Silicon Element on Friction Coefficient of Diamond-Like Carbon Film Annealed Under High Temperature. Thai Industrial Engineering Network Journal, 2(2), 8–13. Retrieved from
Research and Review Article


[1] Shirakura A, Nakaya M, Koga Y, Kodama H, Hasebe T, Suzuki T. Diamond-Like Carbon films for PET bottles and medical applications. Thin Solid Films. 2006; 494: 84-91.
[2] Dillon RO, Woollam JA, Katkanan t. Use of Raman scattering to investigate disorder and crystallite formation in as-deposited and annealed carbon films. Physical Review B. 1984; 29: 3482-3489.
[3] Moolsradoo N, Watanabe S. Modification of tribological performance of DLC films by means of
some elements addition. Diamond and Related Materials. 2010; 19: 525-529.
[4] Moolsradoo N, Abe S, Watanabe S. Thermal stability and tribological performance of DLC-Si-O films. Advanced in Materials Science and Engineering. 2011; Article ID 483437.
[5] ญาณี กลัน่ ภูมิศรี, ณัชชา ขุนศิริมา, รชฏ เจริญ ธรรม , Shuichi Watanabe, ณัฎฐนันท์ มูลสระดู่. การศึกษาอิทธิพลของความร้อนที่มีผลต่อค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานของ ฟิล์มเคลือคาร์บอนคล้ายเพชร (DLC). เอกสารสืบเนื่องจากการประชุมวิชาการเครือข่ายวิศวกรรมเครื่องกลแห่งประเทศไทย ประจำปี พ.ศ. 2557; 15-17 ตุลาคม พ.ศ. 2557;
โรงแรมพูลแมน ราชาออร์คิด. ขอนแก่น; 2557. หน้า 538-542.