Study on the Influence of Silicon Element on Friction Coefficient of Diamond-Like Carbon Film Annealed Under High Temperature

Article Sidebar

pdf
Published: Apr 11, 2016
Keywords:
Friction coefficient Diamond-Like Carbon Surface coating

Main Article Content

Narin Sunthornpan
Department of Production Technology Education, Faculty of Industrial Education and Technology, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangmod
Krittapon Chancherdchu
Department of Production Technology Education, Faculty of Industrial Education and Technology, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangmod
Warawut Rittiphat
Department of Production Technology Education, Faculty of Industrial Education and Technology, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangmod
Nutthanun Moolsradoo
Department of Production Technology Education, Faculty of Industrial Education and Technology, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangmod

Abstract

This research aimed to study the influence of silicon element on friction coefficient of Diamond-Like Carbon film annealed under high temperature. Silicon wafer samples were coated with Si-DLC film prepared from gaseous mixtures of C2H2:TMS at 2:1, 1:2 and 1:4 ratios, deposited by Plasma Based Ion Implantation (PBII) technique. Film thickness was 500 nm. The films were annealed at 400°C, 450°C, 500°C, 550°C and 600°C for 1 hour and then cool in furnace. The friction coefficient of films was measured by Ball on disk friction tester. The results found that Un-annealed Si-DLC film at flow rate ratio of 2:1 (30.97at.%Si) had a lowest friction coefficient of 0.05, and showed heat resistance up to 600°C with a friction coefficient of 0.02.

Article Details

How to Cite
Sunthornpan, N., Chancherdchu, K., Rittiphat, W., & Moolsradoo, N. (2016). Study on the Influence of Silicon Element on Friction Coefficient of Diamond-Like Carbon Film Annealed Under High Temperature. Thai Industrial Engineering Network Journal, 2(2), 8–13. Retrieved from https://ph02.tci-thaijo.org/index.php/ienj/article/view/179517
Issue
Vol. 2 No. 2 (2016): Apr-Jun 2016
Section
Research and Review Article

บทความ ข้อมูล เนื้อหา รูปภาพ ฯลฯ ที่ได้รับการตีพิมพ์ในวารสารฯ ถือเป็นลิขสิทธิ์ของวารสารฯ หากบุคคลหรือหน่วยงานใดต้องการนำทั้งหมดหรือส่วนหนึ่งส่วนใดไปเผยแพร่ต่อหรือเพื่อกระทำการใดๆ จะได้รับอนุญาต แต่ห้ามนำไปใช้เพื่่อประโยชน์ทางธุรกิจ และห้ามดัดแปลง

References

[1] Shirakura A, Nakaya M, Koga Y, Kodama H, Hasebe T, Suzuki T. Diamond-Like Carbon films for PET bottles and medical applications. Thin Solid Films. 2006; 494: 84-91.
[2] Dillon RO, Woollam JA, Katkanan t. Use of Raman scattering to investigate disorder and crystallite formation in as-deposited and annealed carbon films. Physical Review B. 1984; 29: 3482-3489.
[3] Moolsradoo N, Watanabe S. Modification of tribological performance of DLC films by means of
some elements addition. Diamond and Related Materials. 2010; 19: 525-529.
[4] Moolsradoo N, Abe S, Watanabe S. Thermal stability and tribological performance of DLC-Si-O films. Advanced in Materials Science and Engineering. 2011; Article ID 483437.
[5] ญาณี กลัน่ ภูมิศรี, ณัชชา ขุนศิริมา, รชฏ เจริญ ธรรม , Shuichi Watanabe, ณัฎฐนันท์ มูลสระดู่. การศึกษาอิทธิพลของความร้อนที่มีผลต่อค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานของ ฟิล์มเคลือคาร์บอนคล้ายเพชร (DLC). เอกสารสืบเนื่องจากการประชุมวิชาการเครือข่ายวิศวกรรมเครื่องกลแห่งประเทศไทย ประจำปี พ.ศ. 2557; 15-17 ตุลาคม พ.ศ. 2557;
โรงแรมพูลแมน ราชาออร์คิด. ขอนแก่น; 2557. หน้า 538-542.