การศึกษาอิทธิพลของธาตุซิลิคอนที่ส่งผลต่อค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทาน ของฟิล์มเคลือบคาร์บอนคล้ายเพชรที่ถูกอบภายใต้อุณหภูมิสูง
Article Sidebar
Main Article Content
บทคัดย่อ
วัตถุประสงค์งานวิจัยนี้คือทำการศึกษาอิทธิพลของธาตุซิลิคอนที่ส่งผลต่อค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานของฟิล์ม
เคลือบคาร์บอนคล้ายเพชรที่ถูกอบภายใต้อุณหภูมิสูง โดยที่ชิ้นงาน Silicon wafer ถูกนำไปเคลือบด้วยฟิล์ม
เคลือบ Si-DLC ซึ่งถูกเตรียมจากการผสมระหว่างก๊าซ C2H2:TMS ที่อัตราส่วน 2:1, 1:2 และ 1:4 โดยเคลือบด้วย
เทคนิค Plasma Based Ion Implantation (PBII) ความหนาฟิล์มเท่ากับ 500 นาโนเมตร ฟิล์มจะถูกอบที่อุณหภูมิ 400°C, 450°C, 500°C, 550°C และ 600°C เป็นเวลา 1 ชั่วโมง แล้วจึงปล่อยให้เย็นตัวในเตา ค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานของฟิล์มถูกวัดด้วย Ball on disk friction tester ผลการทดลองพบว่า ฟิล์มเคลือบ Si-DLC ที่ไม่ถูกอบที่อัตราส่วน 2:1 (30.97at.%Si) มีค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานต่ำที่สุดเท่ากับ 0.05 และทนอุณหภูมิได้ถึง 600°C โดยมีค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานเท่ากับ 0.02
Article Details
บทความ ข้อมูล เนื้อหา รูปภาพ ฯลฯ ที่ได้รับการตีพิมพ์ในวารสารฯ ถือเป็นลิขสิทธิ์ของวารสารฯ หากบุคคลหรือหน่วยงานใดต้องการนำทั้งหมดหรือส่วนหนึ่งส่วนใดไปเผยแพร่ต่อหรือเพื่อกระทำการใดๆ จะได้รับอนุญาต แต่ห้ามนำไปใช้เพื่่อประโยชน์ทางธุรกิจ และห้ามดัดแปลง
เอกสารอ้างอิง
[2] Dillon RO, Woollam JA, Katkanan t. Use of Raman scattering to investigate disorder and crystallite formation in as-deposited and annealed carbon films. Physical Review B. 1984; 29: 3482-3489.
[3] Moolsradoo N, Watanabe S. Modification of tribological performance of DLC films by means of
some elements addition. Diamond and Related Materials. 2010; 19: 525-529.
[4] Moolsradoo N, Abe S, Watanabe S. Thermal stability and tribological performance of DLC-Si-O films. Advanced in Materials Science and Engineering. 2011; Article ID 483437.
[5] ญาณี กลัน่ ภูมิศรี, ณัชชา ขุนศิริมา, รชฏ เจริญ ธรรม , Shuichi Watanabe, ณัฎฐนันท์ มูลสระดู่. การศึกษาอิทธิพลของความร้อนที่มีผลต่อค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานของ ฟิล์มเคลือคาร์บอนคล้ายเพชร (DLC). เอกสารสืบเนื่องจากการประชุมวิชาการเครือข่ายวิศวกรรมเครื่องกลแห่งประเทศไทย ประจำปี พ.ศ. 2557; 15-17 ตุลาคม พ.ศ. 2557;
โรงแรมพูลแมน ราชาออร์คิด. ขอนแก่น; 2557. หน้า 538-542.
