การสังเคราะห์แกรฟีนบนแผ่นทองแดงด้วยไมโครเวฟพลาสมา CVD

บทคัดย่อ

บทความนี้นำเสนอการสังเคราะห์แกรฟีนบนแผ่นทองแดงด้วยไมโครเวฟพลาสมาCVDที่สร้างขึ้นจากเตําไมโครเวฟฟิล์มของแกรฟีนเกิดบนแผ่นทองแดงโดยใช้ไอของเอทานอลเป็นแหล่งคาร์บอนภายใต้บรรยากาศของก๊าซอาร์กอนที่กําหนดอัตรา การไหล 1234 และ 5 ลิตรต่อนาทีตามลำดับเมื่อตรวจสอบคุณลักษณะเฉพําะของแกรฟ ีนด้วยรํา มํานสเปคโตสโคปีพบแถบส ําคัญทั้งสํามคือ D, G และ  2D ของแกรฟีนที่สังเคราะห์อยู่ที่ 13461579 และ 2686cm-1 ตามลำดับโดยไม่ขึ้นอยู่กับอัตรําการไหลโดยพบว่าแกรฟีนฟิล์มที่สังเคราะห์ได้มีความบกพร่องต่ำในทุกกรณีอย่างไรก็ตามเมื่อใช้อัตราการไหลของก๊าซอาร์กอน 1 ลิตรต่อนาทีโดยทำซ้ำ 5 ครั้งได้แกรฟีนที่มีความหนา 2 ชั้นแต่สำหรับอัตราการไหลอื่นได้แกรฟีนที่มีความหนาหลายชั้น