การศึกษาอิทธิพลของอุณหภูมิการให้ความร้อนซ้ำต่อสมบัติทางไตรบอโลยี ของฟิล์มเคลือบ H-DLC, TiN และ TiCN
Article Sidebar
Main Article Content
บทคัดย่อ
วัตถุประสงค์งานวิจัยนี้คือศึกษาอิทธิพลของอุณหภูมิการให้ความร้อนซ้ำที่ส่งผลต่อสมบัติทางไตรบอโลยีของฟิล์ม
เคลือบ H-DLC, TiN และ TiCN ชิ้นงานทาจากวัสดุทังสเตนคาร์ไบด์ ถูกเคลือบด้วยฟิล์ม H-DLC โดยกระบวนการ
Plasma based ion implantation (PBII) ส่วนฟิล์มเคลือบ TiN และ TiCN ถูกเคลือบด้วยกระบวนการ Physical
Vapour Deposition (PVD) ฟิล์มทั้งหมดถูกนำไปอบที่อุณหภูมิ 100◦C แล้วปล่อยให้เย็นตัวในเตา แล้วจึงนำไปอบซ้ำที่ 200◦C ปล่อยให้เย็นตัวในเตา และ 300◦C แล้วปล่อยให้เย็นตัวในเตาตามลำดับ เป็นระยะเวลาช่วงละ 1
ชั่วโมง ค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานของฟิล์มเคลือบทดสอบด้วยเครื่อง Tribometer แบบ ball on disk ผลการ
ทดลองพบว่าฟิล์มเคลือบ H-DLC ที่ผ่านการอบซ้ำที่ 200◦C และ 300◦C จะมีค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานต่ำ
เท่ากับ 0.05 และ 0.06 ตามลำดับ ส่วนฟิล์มเคลือบ TiN และ TiCN แสดงค่าสัมประสิทธิค์ความเสียดทานเพิ่มขึ้น
เมื่ออุณหภูมิการอบซ้ำเพิ่มขึ้น เนื่องจากการเกิดความเค้นภายในชั้นฟิล์ม และจะเสียหายที่อุณหภูมิการอบซ้ำ
300◦C
Article Details
บทความ ข้อมูล เนื้อหา รูปภาพ ฯลฯ ที่ได้รับการตีพิมพ์ในวารสารฯ ถือเป็นลิขสิทธิ์ของวารสารฯ หากบุคคลหรือหน่วยงานใดต้องการนำทั้งหมดหรือส่วนหนึ่งส่วนใดไปเผยแพร่ต่อหรือเพื่อกระทำการใดๆ จะได้รับอนุญาต แต่ห้ามนำไปใช้เพื่่อประโยชน์ทางธุรกิจ และห้ามดัดแปลง
เอกสารอ้างอิง
[2] Cruz, R., Rao, J., Rose, T., Lawson, K. and Nicholls, J.R. (2006). DLC-ceramic multilayers for automotive applications, Diamond and Related Materials, vol. 15, November-December 2006, pp. 2055-2060.
[3] Shirakura, A., Nakaya, M., Koga, Y., Kodama, H., Hasebe, T. and Suzuki, T. (2006). Diamondlike
carbon films for PET bottles and medical applications, Thin Solid Films, vol. 494, January 2006, pp. 84-91.
[4] Dillon, R.O., Woollam, J.A. and Katkanant. (1984). Use of Raman scattering to investigate disorder and crystallite formation in as-deposited and annealed carbon films, Physical Review B, vol. 29, 1984, pp. 3482-3489.
[5] Moolsradoo, N. and Watanabe, S. (2010). Modification of tribological performance of DLC films by means of some elements addition, Diamond and Related Materials, vol. 19, January 2010, pp. 525-529.
[6] Moolsradoo, N., Abe, S. and Watanabe, S. (2011). Thermal stability and tribological performance of DLC-Si-O films, Advanced in Materials Science and Engineering, vol. 2011, Article ID 483437.
[7] Sresomroeng, B., Premanond, V., Kaewtatip, P., Khantachawana, A., Koga, N. and Watanabe, S. (2010). Anti-adhesion performance of various nitride and DLC films against high strength steel in metal forming operation, Diamond and Related Materials, vol. 19, January 2010, pp. 833-836.
[8] ญาณี กลัน่ ภูมิศรี, ณัชชา ขุนศิริมา, รชฏ เจริญ ธรรม, Shuichi Watanabe, ณัฎฐนันท์ มูลสระดู่, 2557, การศึกษาอิทธิพลของความร้อนที่มีผลต่อค่าสัมประสิทธิ์ความเสียดทานของ ฟิล์มเคลือคาร์บอนคล้ายเพชร (DLC) (Study on the Influence of Thermal on Friction Coefficient of Diamond-Like Carbon (DLC) Film), การประชุมวิชาการเครือข่ายวิศวกรรมเครื่องกลแห่งประเทศไทย, ครัง้ ที่ 28, 15-17 ตุลาคม, ขอนแก่น
[9] Fahnline, D.E., Master, C.B. and Salaman, N.J. (1991). Thin film stresses from nonspherical substrate bending measurement, Journal of Vacuum Science and Technology, Vol. A 9, pp. 2483-2487
